无尘净化工程要控制温湿度具体措施有哪些?
无尘净化工程的温度和湿度主要根据客户的加工工艺要求来确定。在满足加工过程的条件下,应考虑人们的舒适性。随着空气清洁度要求的提高,该过程对温度和湿度的要求越来越高,必须达到一定的温度和湿度水平。例如,在大型集成电路生产的光刻曝光过程中,玻璃和硅片作为的热膨胀系数差异越来越小。直径100um的硅片温度上升1度,导致0.24um线性膨胀,恒温为0.1度,湿度值一般较低,因为人们出汗后会污染产品,特别是半导体车间怕钠,车间不得超过25度。
高湿度会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会暴露出来。如果发生在精密设备或电路中,会导致各种事故。50%时相对湿度容易生锈。无尘净化工程应采取哪些具体措施控制温湿度?
然而,对于大多数清洁空间,内部压力(静压)高于外部压力(静压),以防止外部污染。压差维护一般应符合以下原则:
1.清洁度高的空间压力高于相邻清洁度低的空间压力。
2.相通洁净室之间的门应开到洁净度高的房间。
3.清洁空间的压力高于非清洁空间。
4.压差的维护取决于新风量,可以补偿压差下间隙泄漏的风量。因此,压差的物理意义是通过洁净室各种间隙泄漏(或渗透)的阻力。
由于乱流洁净室主要依靠空气稀释来减少室内污染,主要采用通风次数而不是直接速度的概念,但对室内气流速度也有以下要求:
1.出风口的气流速度不宜过大。与简单的空调房相比,衰减速度更快,扩散角度更大。
2.吹平面气流速度(如侧时回流速度)不宜过大,以免吹表面颗粒回流,造成再污染。这个速度一般不应该是0.2m/s。
以上就是今日小编为大家介绍的无尘净化工程,感谢大家耐心的阅读!
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